| 類型 | 白光干涉儀 | 品牌 | 智泰 |
| 型號(hào) | SIS-2000 | 品種 | 其他干涉儀 |
| 測(cè)量分辨率 | 0.1nm | 用途 | TFT、半導(dǎo)體芯片、材料、微電機(jī)系統(tǒng) |
儀器特點(diǎn):
1 、非接觸式測(cè)量:避免物件受損。
2 、三維表面測(cè)量:表面高度測(cè)量范圍為 1nm ---200μm。
3 、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4 、納米級(jí)分辨率:垂直分辨率可以0.1nm。
5、數(shù)字信號(hào)處理器:實(shí)現(xiàn)測(cè)量需要幾秒鐘。
6 、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái):氣動(dòng)裝置、震、壓。








