至納米
坐標測量機F25符合蔡司的質量保證特別要求，在此特別尺度下，微系統技術生產的工件尺寸、形狀和位置。微系統技術組件將被用于汽車零部件和醫療儀器上，并在高控制和調節過程中起到決定性作用。此精細工件質量監控的決定了零部件使用時的可靠性。
重要特征
? 超精密運動學與高測量系統的完美組合分辨率為7.5nm，測量達到250nm
? 久經考驗的Calypso測量軟件
機器技術
靈活的多功能傳感器：同一系統采用觸發式和光學測量
? 接觸式被動掃描——傳感器基于硅芯片，并帶有集成的壓阻組件
? 光學影像傳感器ViSCAN使用蔡司顯微技術鏡頭，可用于二維測量
? 附加的相機支持探測時的可視化操作，并且便于示教編程
選項
? 靈敏的三維微探針測桿直徑50至500μm及測針頭直徑100至700μm
