Formtracer
表面粗糙度、輪廓形狀一體機(jī)
Formtracer (表面粗糙度 / 輪廓測(cè)量裝置) SV-C3200 / SV-C4500

525系列 — 表面粗糙度/輪廓測(cè)量?jī)x

特點(diǎn)
? 大幅的驅(qū)動(dòng)速度 (X1軸: 80 mm/s, Z2
軸立柱: 30mm/s) 進(jìn)一步減少了總的測(cè)量
時(shí)間。
? 為了長(zhǎng)時(shí)間保持橫往返直線度規(guī)格，三
豐公司采用堅(jiān)硬的陶瓷導(dǎo)軌，既老
化又經(jīng)久。
? 驅(qū)動(dòng)器 (X1軸) 和立柱 (Z2軸) 均配備了高
線形編碼器 (其中Z2軸上為ABS型)。
因此，在垂直方向?qū)π】走B續(xù)自動(dòng)測(cè)量、
對(duì)較難定位部件的重復(fù)測(cè)量的重復(fù)
得以。

自動(dòng)測(cè)量
? 在與CNC機(jī)型配套使用的眾多外設(shè)選件
的支持下，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)量
? 當(dāng)結(jié)合使用新產(chǎn)品雙面錐型測(cè)針 (向上和
向下方向上有接觸點(diǎn)),SV-C4500系列的輪
廓驅(qū)動(dòng)單元通過與上下圓錐測(cè)針的組合，
實(shí)現(xiàn)了上下兩面連續(xù)測(cè)量的功能從而不
需要改變測(cè)臂方向就能對(duì)工件進(jìn)行復(fù)位.

輪廓測(cè)量技術(shù)參數(shù):
X1軸
測(cè)量范圍:
100mm 或 200mm
分辨率:
0.05μm
長(zhǎng)度基準(zhǔn):
反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:
0 - 80mm/s 外加手動(dòng)
測(cè)量速度:
0.02 - 5mm/s
移動(dòng)方向:
向前／向后
直線度:
0.8μm / 100mm, 2μm / 200mm
*以X1軸為水平方向上
直線位移:
±(1+0.01L)μm (SV-C3200S4, H4, W4)
(20oC時(shí))
±(0.8+0.01L)μm (SV-C4500S4, H4, W4)
±(1+0.02L)μm (SV-C3200S8, H8, W8)
±(0.8+0.02L)μm (SV-C4500S8, H8, W8)
* L 為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 (mm)
傾角范圍:
±45o (帶有X1軸傾斜單位)
Z2 軸 (立柱)
垂直移動(dòng):
300mm 或 500mm
分辨率:
1μm
長(zhǎng)度基準(zhǔn):
ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:
0 - 30mm/s 外加手動(dòng)
Z1 軸 (檢出器)
測(cè)量范圍:
±30mm
分辨率:
0.04μm (SV-C3200),
0.02μm (SV-C4500)
標(biāo)尺:
線性編碼器
(20oC時(shí))
±(1.6+|2H|/100)μm (SV-C3200)
±(0.8+|2H|/100)μm (SV-C4500)
*H: 基于水平位置的測(cè)量高度 (mm)
測(cè)針上／下運(yùn)作: 弧形移動(dòng)
測(cè)針方向:
向上/向下 (SV-C3200)
( 上下可連續(xù)測(cè)量 ) (SV-C4500)
測(cè)力:
30mN (SV-C3200)
10, 20, 30, 40, 50mN (SV-C4500)
*如 SV-C4500設(shè)置測(cè)力
跟蹤角度:
向上: 77o, 向下: 83o
(使用配置的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)頭， 依表面粗糙度
而定)
測(cè)針針尖
半徑 : 25μm, 硬質(zhì)合金
表面粗糙度測(cè)量技術(shù)參數(shù):
X1 軸
測(cè)量范圍:
100mm 或 200mm
分辨率:
0.05μm
長(zhǎng)度基準(zhǔn):
線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:
0 - 80mm/s 外加手動(dòng)
移動(dòng)方向:
向后
直線度:
(0.05+1L/1000)μm (S4, H4, W4 型)
0.5μm/200mm (S8, H8, W8 型)
Z2 軸 (立柱)
垂直移動(dòng):
300mm 或 500mm
分辨率:
1μm
長(zhǎng)度基準(zhǔn):
ABSOLUTE 線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度:
0 - 30mm/s 外加手動(dòng)
檢出器
范圍／分辨率:
800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用測(cè)針選件時(shí)，
可達(dá)2400μm)
測(cè)力:
4mN 或 0.75mN (低測(cè)力型)
測(cè)針針尖:
金剛石, 90o / 5μmR
(60o / 2μmR:低測(cè)力型)
類型:
差動(dòng)電感式