- 品牌/商標:臺灣Chroma
- 企業類型:貿易商
- 新舊程度:全新
- 原產地:臺灣
Chroma 7935晶圓檢測機為切割后自動化晶粒檢測機,使用先進的打光技術,可以清楚的辨識晶粒的外觀瑕疵。結合不同的光源角度、亮度及取像模式,使得 7935可以適用于LED、雷射二極體及影像感測器等產業。
由于使用高速相機以及自行開發之檢測演算法,7935可以針對特定瑕疵項目在2 分鐘內檢測完2"晶圓,換算為單顆處理時間為15 msec。7935同時也提供了自動 對焦與翹曲補償功能,以克服晶圓薄膜的翹曲與載盤的水平問題。7935可配置不 同倍率之物鏡,使用者可依晶粒或瑕疵尺寸選擇適當的檢測倍率。系統搭配的 小解析度為0.35um,一般來說,可以檢測1um左右的瑕疵尺寸。
系統功能
在擴膜之后,晶粒或晶圓可能會產生不規則的排列,7935也提供了搜尋及排列功 能以轉正晶圓。此外,7935擁有人性化的使用介面可降低學習曲線,所有的必要 資訊,如晶圓分布,瑕疵區域,檢測參數及結果,均可清楚地透過UI呈現。
瑕疵資料分析
所有的檢測結果均會被記錄下來,而不僅只是良品/不良品的結果。這有助于找 出一組參數,達到漏判與誤判的平衡點,瑕疵原始資料亦有幫助于分析瑕疵 產生之趨勢,并回饋給制程人員進行改善。
綜合上述說明,Chroma 7935是晶圓檢測制程考量成本與效能的選擇。
應用范圍
















