一.中圖激光干涉儀產(chǎn)品優(yōu)勢

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1.測量高、速度快，穩(wěn)定性好

①使用美國高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高穩(wěn)頻(0.05ppm)

②以光波長(633nm)為測量單位，分辨率可達(dá)nm級

③使用高速光電信號采樣和處理技術(shù)，測量速度可達(dá)到4m/s。

④配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測量

⑤分離式干涉鏡設(shè)計(jì)，避免了測量鏡組由于主機(jī)發(fā)熱而引起的鏡組形變

2. 應(yīng)用范圍廣

①可以實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平面度等幾何量的檢測

②結(jié)合我們的軟件系統(tǒng)，可以用于速度，加速度，振動(dòng)分析以及穩(wěn)定度等分析

③可實(shí)時(shí)監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動(dòng)態(tài)特性分析

3.軟件界面友好

①使用當(dāng)前熱門的軟件界面開發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡單。

②將靜態(tài)測量和動(dòng)態(tài)測量兩種功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶切換測量類型。

③向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合國?nèi)用戶的使用習(xí)慣。

4 性價(jià)比高

性能達(dá)到了國外儀器的水準(zhǔn)，價(jià)格是國內(nèi)儀器的良心價(jià)。

二.中圖激光干涉儀功能特點(diǎn)

1.測量高：以激光干涉技術(shù)為，分辨率可達(dá)納米級；采用高環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

2.中圖激光干涉儀具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的線性定位、重復(fù)定位等；同時(shí)也能檢測運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度的測量。

3.可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

4.中圖激光干涉儀具有動(dòng)態(tài)測量（位移-時(shí)間曲線、速度-時(shí)間曲線、加速度-時(shí)間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等。

5.內(nèi)置各種類國標(biāo)（GB）、ISO（國際）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)?？梢罁?jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)。

6.中圖激光干涉儀可自動(dòng)監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)?？蛇x擇手動(dòng)或自動(dòng)對波長進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

7.測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。

8.安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

三.中圖激光干涉儀技術(shù)參數(shù)

系統(tǒng)性能

2  測量方式：單頻

2  穩(wěn)頻：0.05ppm

2  動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz

2  預(yù)熱時(shí)間：5-10分鐘

2  工作溫度范圍：0~40℃

2  環(huán)境溫度范圍：0~40℃

2  存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃

環(huán)境補(bǔ)償示值誤差

2  空氣溫度傳感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  材料溫度傳感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

2  空氣濕度傳感器：±6% (0-95%)

2  大氣壓力傳感器：±1mBar (650-1150mbar)

線性測量

2  測量距離：0-40m

2  測量：0.5ppm (0-40℃)

2  測量分辨率：1nm

2  測量速度：4m/sec

角度測量

2  軸向量程：0-15m

2  測量范圍：±10°

2  測量：±0.6%R±0.5±0.1M μm/m（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）

2  測量分辨率：0.1μm/m

直線度測量

2  軸向量程：0.1-4.0 m

2  測量范圍：±2.5 mm

2  測量：±0.5% R±0.5±0.15M2 μm（M為光學(xué)鏡移動(dòng)距離，單位：m）

2  測量分辨率：0.01μm