江浙滬芯片引腳金屬鍍層厚度測試儀

江浙滬芯片引腳金屬鍍層厚度測試儀 EDX2000A(全自動(dòng)微區(qū)膜厚測試儀)對平面、凹凸、拐角、弧面等各種簡單及復(fù)雜形態(tài)的樣品進(jìn)行快速對焦準(zhǔn)確分析，對半導(dǎo)體、芯片及PCB等行業(yè)的非接觸微區(qū)鍍層厚度測試比較友好。通過自動(dòng)化的X軸Y軸Z軸的三維移動(dòng)，雙激光定位和 bao 護(hù)系統(tǒng)。

采用大窗口探測器，能 jing 準(zhǔn)地解析每個(gè)元素的特征信號，針對復(fù)雜底材以及多層復(fù)雜鍍層，同樣可以輕松測試。

搭配 da 功率X光管，能較好的保障信號輸出和激發(fā)的 wen ding 性，減少儀器故障率。

高 jing 度 zi 動(dòng)化的X、Y、Z軸的三維聯(lián)動(dòng)，geng jing 準(zhǔn)快速地完成對微小異型(如弧形、拱形、螺紋、球面等)測試點(diǎn)的 ding 位。

自動(dòng)化上照式膜厚儀技術(shù)參數(shù)

尺寸規(guī)格

設(shè)計(jì)形式：臺(tái)式儀器，測量蓋向上開啟

測量方向： 從上至下

儀器重量： 60kg

外型尺寸：(mm) 485(W)×588(D)×505(H)

樣品室尺寸：(mm) 430(W)×400(D)×140(H)

X射線源

X射線管： 微焦斑W靶射線管

X射線管高壓、電流：  jin 口大功率高壓單元

準(zhǔn)直器(孔徑) ：可選配0.1*0.3mm,φ0.2mm,φ0.3mm,φ0.5mm,φ0.1mm 還可按要求 定制其它孔徑

 X射線檢測

 探測器： 大窗口探測器

分析方法： FP與EC法兼容能量色散X熒光分析方法

元素檢測 fan圍： 13Al(鋁)~92U(鈾),可同時(shí)分析24個(gè)元素，五層以上鍍層

檢出限 ：金屬鍍層分析薄度可0.0025μm

厚度fan圍 ：分析鍍層厚度一般在0~120μm以內(nèi)(每種材料有所不同)

厚度標(biāo)準(zhǔn)偏差： RSD<3%

含量測試 fan 圍： 0.1%~99.9%

檢測時(shí)間： 5-40秒

樣品觀測配置

樣品照明 ：LED燈，上方垂直環(huán)繞照射(可調(diào)節(jié)亮度)

樣品觀察對焦： 高分辨率彩色CCD變焦工業(yè)攝像頭，沿初級X射線光束方向觀察測量位置，帶有經(jīng)過校正的刻度和測量點(diǎn)指示的十字線，手動(dòng)/自動(dòng)對焦

倍率： 外激光點(diǎn)用于輔助 jing 準(zhǔn)放置樣品，高度激光調(diào)節(jié)配合變焦攝像頭對焦，圖像可放大倍數(shù)20x-160x,實(shí)現(xiàn)微小樣品清晰 ding 位

電動(dòng)X/Y/Z高 jing 度移動(dòng)平臺(tái)

設(shè)計(jì)： 可編程電動(dòng)X/Y/Z平臺(tái)

樣品移動(dòng)平臺(tái)： 全自動(dòng)高jing度多點(diǎn)測試XY移動(dòng)平臺(tái)

Z軸升降平臺(tái)升降fan圍 ：0~140mm

安 quan 防護(hù)

操作環(huán)境溫濕度： 15℃~30℃,濕度≤70%

工作電源： 交流220V±5V,建議配置交流凈化wen壓電源

安 quan 性： 雙重安 quan 防護(hù)設(shè)施：防撞激光檢測器與樣品室門開閉傳感器；待機(jī)無輻射，工作時(shí)輻射水平遠(yuǎn) di于 guo 際安 quan標(biāo)準(zhǔn)，配軟件連動(dòng)裝置

江浙滬芯片引腳金屬鍍層厚度測試儀應(yīng)用方向

通過自動(dòng)化的X軸Y軸Z軸的三維移動(dòng)，雙激光 ding 位和 bao hu 系統(tǒng)，man zu 半導(dǎo)體、芯片及PCB等行業(yè)的非接觸微區(qū)鍍層厚度測試xu求。

江浙滬芯片引腳金屬鍍層厚度測試儀EDX2000A售后服務(wù)

?儀器的品質(zhì)bao zhneg

天瑞儀器公司 bao zheng 所供貨品為天瑞儀器公司生產(chǎn)的新品,品質(zhì)優(yōu)良，符合我方相關(guān)樣本說明書的技術(shù)指標(biāo)參數(shù)。

1、一對一的用戶培訓(xùn)

2、定期召開的行業(yè)大會(huì)

?儀器的安裝調(diào)試

天瑞儀器公司將在到貨后雙方約定的時(shí)間內(nèi)盡快響應(yīng)， bao zheng 質(zhì)量的完成儀器的免費(fèi)安裝、調(diào)試和培訓(xùn)指導(dǎo)。

?儀器的保修期

儀器的免費(fèi)保修期為安裝調(diào)試驗(yàn)收合格后，雙方簽訂驗(yàn)收調(diào)試報(bào)告開始計(jì)一年。保修期內(nèi)，對于非人為造成的儀器故障實(shí)行免費(fèi)維修。

?儀器的維修響應(yīng)

收到貴方的維修申請后，天瑞儀器公司將以 zui 快的響應(yīng)速度（一般不超過三個(gè)工作日）到達(dá)貴公司對儀器進(jìn)行維修。

?技術(shù)培訓(xùn)與支持

安裝時(shí)現(xiàn)場提供分析儀器的硬件、軟件操作培訓(xùn)，使操作人員能夠掌握相關(guān)儀器的使用和日常維護(hù)。