貝丁漢ZLM900LSI激光干涉儀不能夠的測量數控機床的幾何量,如線性度、直線度、垂直度、角度、平面度等,通過配合使用球桿儀,還能夠測量數控機床的回轉量。
產品特點:
1、外差式頻率,光纖和光束一對一的干涉儀
2、高柔性校準模塊
3、動態測量速度可達4m/s
4、實時時間測量
5、可擴展到六軸
6、用于3D也可快速調整
7、帶磁性鎖緊環的小反射鏡
8、速度4m/s
9、標準分辨率1nm
10、精準度<50nm/m (使用高溫度傳感器)
11、用于筆記本
12、網絡兼容
技術參數:
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真空中氦氖激光器平均波長 |
632.8nm |
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激光穩頻 |
2*10-9,一個小時 2*10-8,壽命周期內 |
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激光束直徑 |
6mm (可選項3.2mm) |
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擴展光束的輸出 |
1mW (等級2) |
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每束激光的測量軸數量 |
1,多可選6個 |
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距離測量范圍 |
40m,多可選120m |
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角度測量范圍 |
±15°,20m長 |
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直線度測量范圍 |
±5mm,2m或10m長時 |
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速度 |
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線性度 角速度 |
4m/s,可選項16m/s <320 rad |




