［SFT-110的主要特征］
1. 通過自動定位功能操作性
測量樣品時，以往需花費約10秒的樣品對焦，現在3秒內即可完成，大大樣品定位的操作性。
2. 微區膜厚測量
通過縮小與樣品間的距離等，致使在微小準直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度膜厚測量的。
3. 多達5層的多鍍層測量
使用薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標準片也可進行多達5層10元素的多鍍層測量。
4. 廣域觀察系統（選配）
可從250×200mm的樣品整體圖像指定測量位置。
5. 對應大型印刷線路板（選配）
可對600×600mm的大型印刷線路板進行測量。
6. 位
與以往機型相比，既了功能性又降低20%以上的價格。
［主要產品規格］
檢測器： 比例計數管
X射線源： 空冷式小型X射線管
準直器： 0.1、0.2mmφ2種
樣品觀察： CCD攝像頭
樣品臺移動量：250（X）×200（Y）mm
樣品高度：150mm
