多角度激光橢偏儀(PH-LE型)專門針對晶硅太陽能電池絨面上的減反膜測量，能夠測量薄膜厚度及其光學常數(shù)，使用632.8nm波長氦氖激光器，具有高的度和準確度。
多角度激光橢偏儀 - 產(chǎn)品特點
■ 可以測量單晶電池片、多晶電池片
■ 可以測量拋光片，度和準確度高
■ 可以測量粗糙表面的“絨片”
■ 適用于對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的低反射光強進行測量
■ 可對太陽能電池粗糙表面減反膜造成的退偏因數(shù)（偏振因數(shù)）進行測量和評估，測量
■ 配置有高穩(wěn)定度補償器，提供小的漂移值和小的測量誤差
■ 配置有高的自動光學對準顯微鏡
■ 可進行20°－90°范圍內(nèi)的多角度測量
多角度激光橢偏儀 - 測量特點
■ 非破環(huán)性檢測
■ 樣品準直簡單方便
■ 測量速度快
■ 可變?nèi)肷浣欠秶鷮?/span>
■ 測量
■ 軟件分析
多角度激光橢偏儀 - 技術(shù)指標
■ 光源：He-Ne激光器
■ 光斑直徑：1-2mm
■ 入射角范圍：20°到90°,5°/步
■ ：0.002°~0.02°
■ 膜厚：0.01mm，對100nmSiO2on Si
■ 折射率：0.0005，對100nmSiO2on Si
■ 激光光斑：直徑1mm
■ 激光波長632.8nm
多角度激光橢偏儀 - 典型客戶
美國，歐洲，亞洲及國內(nèi)太陽能及半導體客戶。
