| 類型 | 激光干涉儀 | 品牌 | 成都科豐芯緣 |
| 型號 | KF-C | 品種 | 激光干涉儀 |
| 測量范圍 | 0-25m | 測量分辨率 | 0.01μm |
| 近工作距離 | 1（mm） | 用途 | 芯片刻畫 |
雙頻激光干涉儀主要用作計量中的長度基準，隨著機床的不斷，激光干涉儀現已成檢定數控機床、坐標測量機位置的理想工具。同時雙頻激光干涉儀又是一種高的位移傳感器，可直接安裝在高機床及坐標測量機上，作為坐標系統，大大機床及坐標機的定位。除了長度測量外，儀器可根據用戶需要配置各種光學附件，測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差；還可按預定的間距自動完成檢測和精密刻劃的工作，因此雙頻激光干涉儀在微電子加工以及納米測量上有的作用。
提供成都科豐芯緣KF-C型雙頻激光干涉儀 技術指標
分辨率： 0.01μm
測量速度： 200mm/s
測量距離： 25m
提供成都科豐芯緣KF-C型雙頻激光干涉儀 波長補償系統：
大氣壓力 空氣溫度 淘寶導購 材料溫度
測量范圍： 300～1100mba 0～40℃ 0～40℃
分辨率： 0.1mba 0.01℃ 0.001℃（或0.03℃）
精 度： &plun;0.5mba &plun;0.2℃ &plun;0.05℃（或0.06℃）.