品名  掃描探針顯微鏡
型號  E-sweep 
概要  大氣中、真空中、溶液中等，對應各種各樣的測定環境的環境控制單位。可在不同溫度時測量樣品表面的形貌和物性的變化，對升溫條件進行程序設定，搭載了能夠檢出溫度連續變化過程時的表面物性的変化的表面轉移溫度顯示器功能。 SFT9000系列里的機型就是SFT9455。搭載著75W高性能X射線管和雙向分離工檢測器(半導體檢測器+比例計數管)，符合“薄膜”、“合金膜”、“極微小部分測定”等鍍膜厚度測定要求的高性能膜厚度測量儀。SFT9455還在鍍膜厚度測定功能的基礎之上增加了異物定性和查資料成分分析的功能。 
特長 
1. 對應環境測定需求(光學系的大氣中配置 / 連續加熱、冷卻對應)
能夠在以前的大氣型SPM無法實現的環境下進行測定的環境控制型SPM。能夠小限度控制表面吸附水的影響，在高真空狀態下進行電測量、加熱或冷卻狀態的樣品的物性圖像等。 另外，新開發的『溫度掃描功能』可監視由于溫度変化而引起的樣品熱膨脹和收縮的Z軸測定區域脫落，通過控制反饋信號，使懸臂在接觸樣品表面時的連續物性測定成為可能。
(號、號)  
●大氣中　●液體中　●真空中　●氣體氣氛(流量控制)
●溫度控制 加熱?冷卻(-120～300℃)　高溫(室溫～800℃)　
●濕度控制(0～80%)
●外加磁場(水平、垂直、面內旋轉、max 5000 Oe )對應！
(專用零配件使用)  
2. 簡易操作的實現(綜合型Holder Flange)
通過采用不需使用工具的『綜合型Holder Flange開閉功能』，樣品和掃描器更換更為容易的同時，免去了作為環境控制SPM的樣品更換后的所必需的光軸調整。 也沒有必要進行測定模式切換時的支架更換。 
3. 卓越的高性能的確立
采用了『Swing Cancel功能』。徹底減少了樣品的起伏波動，控制了偏差量。提高了在超微需求的構造分析中不可或缺的基本性能，提升了可信度。
偏差量：0.015nm/sec以下
4. 通過減輕表面吸附水的影響，提高了電物性模式的分辨率
觀察電特性等的場合，因為樣品表面和探針附著的水分的影響，有分辨率下降的可能性。 通過使其變為真空狀態，排除了附著在表面的水分?污染物等，使物性觀察模式的高分辨率且高感度的觀察成為可能。
 
規格
分辨率 原子相
樣品尺寸 20mmφ、厚度10ｍｍ對應 以加高擋板(零配件)對應至厚度20mm
樣品移動范圍 X-Y stage 5mm
掃描范圍
標準： 20µm□/1.5µmH對應
• 150µm□/5µmH對應
• 15µm□/1.5µmH對應(閉環固定偏差控制)

定位顯微鏡  
• 簡易顯微鏡(×200倍)
• 光學顯微鏡(×1000倍)
• ズーム顯微鏡(×700倍)
• 金屬顯微鏡(裝有微分干渉)(×2000倍)

測定功能
• AFM(接觸模式)
• DFM(輕敲模式)
• PM(相位)
• FFM(摩擦)
• MFM(磁力) • SIS模式
• LM-FFM(橫振動摩擦)
• VE-AFM/DFM(粘彈性)
• Adhesion(吸附力)
• CURRENT(電流)
• SSRM(擴展抵抗)
• SNDM
• PRM(壓電響應)、KFM(表面電位)
• 液體中AFM/DFM
• EC-AFM/STM
• NanoIndentation(硬度)
• Nano-TA(微區加熱)

零配件
高溫加熱樣品臺
加熱冷卻兼用樣品臺
冷卻真空
溫度控制