- 品牌/商標(biāo)：美國EXTORR
- 企業(yè)類型：貿(mào)易商
- 新舊程度：全新
- 原產(chǎn)地：US
特點(diǎn)及應(yīng)用：
?操作簡單
?可靠，方便
?在線原位分析真空環(huán)境及工藝氣體
?定性或定量分析監(jiān)測濺射鍍膜反應(yīng)工藝過程中真空室內(nèi)的氣體分壓強(qiáng)
?優(yōu)化工藝過程參數(shù)，提高鍍膜產(chǎn)品質(zhì)量
?對真空系統(tǒng)檢漏
在工藝中的效果
?改善質(zhì)量
?提高流片量
?減少停機(jī)時(shí)間
?改進(jìn)工藝
?縮小工藝周期
?降低成本
技術(shù)參數(shù)：
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測量氣體范圍 XT100（M） XT200（M） XT300（M） |
1到100 amu 1到200 amu 1到300 amu |
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檢測類型 |
法拉第杯（FC）或電子倍增器（EM） |
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靈敏度（A/mbar） |
5×10-4torr，法拉第杯，氮28, 10%峰高 |
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分辨率 |
1 amu，10%峰高 |
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小可檢分壓強(qiáng) |
10-11 torr或10-14torr（電子倍增器），氮28，10%峰高 |
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工作范圍 |
10-4 torr到超高真空 |
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工作環(huán)境溫度 |
40°C |
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烘烤溫度 |
300°C（不包括CCU） |
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通訊端口 |
RS-232C，115,200 Baud |
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軟件運(yùn)行環(huán)境 |
Windows? 2000或XP |
