瓦里安公司生產(chǎn)的真空測量設(shè)備包括真空規(guī)和真空計，真空規(guī)主要有：531和536型熱偶真空規(guī)，熱傳導(dǎo)真空規(guī)，525型冷陰真空規(guī)，熱陰電離真空規(guī)，倒磁控管真空真空規(guī)，-100型Aive低真空規(guī)，Eyesys ConveorrTM 型Aive低真空規(guī)，Eyesys Mini-BA Aive高真空規(guī)，Eyesys Mini-IMG Aive高真空規(guī)，真空計主要有801型真空計和XGS-600真空計。 

一、真空規(guī)    

（1）531和536型熱偶真空規(guī)：適合于連續(xù)和準(zhǔn)確地測量壓力為1 x 10^-3 torr 至2.0 torr 的真空度,二者均對安裝取向沒有選擇性，而且對壓力變化響應(yīng)快速。          

（2）熱傳導(dǎo)真空規(guī)：能夠準(zhǔn)確測量真空度，也適合那些需要快速、重復(fù)性地從大氣抽空的應(yīng)用領(lǐng)域。熱傳導(dǎo)規(guī)管不同于常規(guī)的對流型規(guī)管，系統(tǒng)振動不會對它產(chǎn)生影響。的設(shè)計使其能夠在0^。C 至50^。C的范圍內(nèi)準(zhǔn)確地讀數(shù)。       

（3）525型冷陰真空規(guī)：測量的真空度范圍為 1X10^-8 至1X10^-2 torr，其測量值準(zhǔn)確度高、重復(fù)性好、性高。由于沒有易燒毀的燈絲，突然暴露大氣不會對該規(guī)造成任何的損壞。525 規(guī)在結(jié)構(gòu)上和倒磁控管真空規(guī)類似，因此它可以在低的真空度下啟動，而常規(guī)的冷陰規(guī)在此壓力下推測則啟動。        

（4）熱陰電離真空規(guī)：有多個系列可供不同用戶選擇。下面以563標(biāo)準(zhǔn)量程熱陰電離真空計為例來說明。563 型真空計在較大的量程范圍（2X10^-10 torr 至1X10^-3 torr）內(nèi)表現(xiàn)出色。玻璃腔內(nèi)壁鍍鉑，能夠屏蔽掉低真空下靜電對真空計內(nèi)部件的損壞，也可以分流掉壓力升高積累起來的靜電荷。為了延長燈絲的壽命，563型真空計使用鍍釷的銥燈絲。同樣可以提供參考真空規(guī)，小于5X10^-6 torr 下密封，用于測試真空規(guī)。        

（5）倒磁控管真空真空規(guī)：不能夠提供準(zhǔn)確而高重復(fù)性地真空度數(shù)，而且能夠應(yīng)用于惡劣及腐蝕性的環(huán)境。真空測量上的性能和 BA 規(guī)相近，但清理和維修如同普通冷陰規(guī)一樣簡單，卻沒有其他普通冷陰規(guī)在使用中的局限性。它的這些特點使其尤其適合于諸如真空爐等工業(yè)系統(tǒng)中 --在這些環(huán)境中，耐久性是重要的指標(biāo)。適用于真空的IMG 倒磁控真空計可測量低的真空度，且能夠在 10^-11 torr 的壓力下啟動。同時，即使還連接著電纜，適用于 UHV 的IMG 真空計也能夠耐受高的烘烤溫度。    

（6）-100型Aive低真空規(guī)：可以測量1X10^-4 torr至大氣壓的范圍。0.2 秒的快速響應(yīng)和出眾的測量，使其成為替換皮拉尼真空計的理想選擇。它具有兩個以上可以由用戶設(shè)置兩個設(shè)定點 （set point），當(dāng)壓力設(shè)定壓力的時候，它可以輸出觸發(fā)信號。每一組提示信號包含一個電子輸出信號以及LED燈的不斷閃動。          

（7）Eyesys ConveorrTM 型Aive低真空規(guī)：是一個結(jié)構(gòu)緊湊且經(jīng)濟的壓力測試裝置。它在1mTorr 到大氣壓的范圍內(nèi)對壓力快速響應(yīng)，壓力觸發(fā)點可以用數(shù)字開關(guān)選擇（避免模擬調(diào)節(jié)帶來的信號水平不穩(wěn)），在5 mtorr 至 500 torr范圍內(nèi)共有16 個水平可以設(shè)置。Eyesys Conveorr 規(guī)的另一個顯著優(yōu)點是其可以自動校準(zhǔn)。組件均裝在一個緊湊的盒中，包括真空傳感器和的控制電路，因此省去了控制器。             

（8）Eyesys Mini-BA Aive高真空規(guī)：是Eyesys ConveorrTM 規(guī)的高真空版本。Eyesys Mini-BA 的壓力測試范圍為10 mtorr 至2X10^-9 torr，它可以通過模擬或數(shù)字信號遠(yuǎn)程操作。輸出的壓力信號可通過不同的選件讀取，既可以通過LED 直接顯示，亦可以為與壓力對應(yīng)得電壓模擬信號，或RS-232 /RS-458 串行數(shù)據(jù)接口。除此之外，使用者可以設(shè)置兩個SPST參考點以作為過程控制之用。電子流除氣為標(biāo)準(zhǔn)功能。    （9）Eyesys Mini-IMG Aive高真空規(guī)：該系統(tǒng)是基于倒磁控管高真空測量真空計的成熟技術(shù)，可以地工作于10^-3 torr 至10^-9 torr 的使用環(huán)境。由于的組件均集成在一個裝置內(nèi)，無需另配置外部控制器。它既可將與壓力對應(yīng)得電壓模擬輸出信號接到計算機或PLC系統(tǒng)即可。  二、真空計      （1）801型真空計：801 型真空計工作穩(wěn)定而再現(xiàn)性好，主要用于1X10-3 torr 至2 torr 的低真空熱偶規(guī)測量。該款結(jié)構(gòu)緊湊、重量輕盈,同時配備10英尺長的真空規(guī)線纜、6英尺長的電源線纜，以及表頭面板上三個用于固定的柱頭螺栓。用戶可以單獨選購?fù)呃锇驳?31和536 型熱偶真空規(guī)用于801型真空計。801型真空計的顯示為模擬信號顯示，面板刻度涵蓋主要的真空范圍。該控制器同時還可以提供一個模擬輸出接口用于在其它設(shè)備上記錄真空數(shù)據(jù)。         （2）XGS-600真空計：的XGS-600型真空計將復(fù)雜的真空測量工作大大簡化。XGS-600真空計可以使用三種不同的真空規(guī)控制卡，分別隸屬于不同級別的真空度：熱對流規(guī)（熱偶規(guī)和熱傳導(dǎo)規(guī)管）、熱燈絲型離子規(guī)、倒磁控管規(guī)。XGS-600 真空計可以同時安裝多達(dá)六個真空規(guī)控制卡，不同類型的控制卡可以幾乎任意組合。此外，包括8個控制設(shè)定點、可編程的RS232/RS485 串行通訊口、用于熱電離規(guī)的電子束（E-beam）排氣等均為系統(tǒng)標(biāo)配。這些，大地拓展可客戶使用于自己的真空系統(tǒng)上的兼容性和拓展能力，而系統(tǒng)的體積依舊占據(jù)半個標(biāo)準(zhǔn)插件箱尺寸。