- 產(chǎn)品品牌：
- ZETA
- 產(chǎn)品型號：
- 20&200
- Zeta-200是集三維成像和計量功能于一身的先進自動化表面測量系統(tǒng)。它功能配備齊全、使用方便，是自動三維測量系統(tǒng)中性能價格比優(yōu)的選擇。Zeta-200能夠自動采集樣品上多點的工藝參數(shù)，如臺階高度、體積、尺寸及粗糙度等，為您提供監(jiān)控及優(yōu)化生產(chǎn)流程所需的數(shù)據(jù)。
- 放大倍數(shù)為5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物鏡
- 1/3英寸CCD相機; 0.5倍耦合鏡
- 自動Z軸，30毫米驅(qū)動范圍
- 自動XY載物臺，200毫米x 200毫米驅(qū)動范圍
- 具有3GB內(nèi)存和320GB硬盤的電腦，24英寸顯示器，以及澤塔三維功能軟件
圖案間距，標準偏差
表面粗糙度
區(qū)域平均臺階高度 輪廓測量（輪廓儀）
臺階高度（臺階儀）
粗糙度參數(shù)（粗糙度測量）
多橫截面分析
平均值測量標尺
點對點測量標記
傾斜度和表面波度補償
陣列式采樣序列
自動數(shù)據(jù)與圖像輸出用于生產(chǎn)線SPC
應(yīng)用：精密測量
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三維成像 樣品的真實顏色和形狀如何？ 獲取一幅測試樣品表面的全真彩色三維圖像往往是解決問題的步，它對做決定具有參考價值。 |
尺寸 寬度與高度有多少？ 對在顯微鏡下才看得到的零件，只要在我們的儀器上做掃描即可準確地測出諸如橫向尺寸、臺階高度、斜面傾角等參數(shù)。 |
三維精密測量 表面狀況如何？ 我們依據(jù)數(shù)以百萬計的數(shù)據(jù)點計算出來的二維和三維粗糙度參數(shù)，當然會比其它儀器用只掃一條線或只掃一個狹小視場所獲得的數(shù)據(jù)來得。 |
薄膜厚度檢測 表面上還有別的東西嗎？ 單層或多層薄膜可用我們的分光光度計（選項）來測量。這樣，用戶可以同時對表面形貌和長在表面上的薄膜進行研究。 |
