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1. GD25粗糙度驅(qū)動器
（1） 測量長度 20mm
（2） 測速 0.5 mm/s或0.1 mm/s,可調(diào)
（3） 直線度誤差 0.2um/20mm
（4） 電動高度調(diào)整 4 mm
（5） 平面上手動調(diào)整傾斜 +10um/mm
2. PCV200輪廓驅(qū)動器
（1） 水平驅(qū)動長度 置于concept輪廓儀上至200mm
（2） 輪廓垂直測量范圍 50mm(相對點為+/-25mm)
（3） 測力 2Mn …...120Mn,工件倒置測量也可以.
（4） 直線度誤差 <1um/200mm
（5） X/Z方向定位 1 um
（6） 測針分辨率 0.25 um/ 175 mm測桿 0.5 um/350 mm測桿
（7） 系統(tǒng)分辨率 0.04 um
（8） 掃描速度 0.2 mm/s至8 mm/s
（9） 測量速度 0.1mm/s …..1mm/s
（10） 測角 在光滑表面可抬升+12 mm
（11） 測量傾斜 驅(qū)動器可傾斜+/-45º以上進行測量
3. ST500測量工作臺
（1） 立柱移動為 500mm
（2） 大理石底座臺面尺寸 700 x550 x 90mm
（3） 控制方式 電驅(qū)動控制
（4） 調(diào)整裝置 配有傾斜
（5） T形槽 大理石平臺有10mm
4. 粗糙度測量軟件
（1） 測量原理 機械式指針接觸測量配有MFW250,
（2） 測量量程 &plun;25, &plun;250, &plun;500 um
（3） 粗糙度輪廓分辨率 垂直方向: 50微米量程為0.8納米
500微米量程為8納米
（4） 水平方向: 0.56毫米為35納米
1.75毫米為100納米5.6毫米
350納米17.5毫米為1微米
（5） 分辨率: 垂直方向 60,000:1
水平方向 16,000:1
（6） 垂直放大率 200,000
（7） 水平放大率 100,000
（8） ISO/DIN標準1級(相對誤差<5%)
（9） 濾波器類型 按照DIN 4777規(guī)定的輪廓濾波器(數(shù)字式和相位修正
式),RC濾波器,按DIN4776規(guī)定的濾波器.
（10） 截止波長 0.08 / 0.25 / 0.8 / 2.5 / 8 mm
（11） 移動長度 0.56 / 1.75 / 5.6 / 17.5 mm
（12） 測量長度 0.4 / 1.25 / 4.0 / 12.5 mm
（13） 移動長度 0.56 …..17.5mm可調(diào)
（14） 參數(shù) Ra, Rz, Rmax, S(RS), (R), tp(RMr),Rp, Rdq, Pt,
Rt, Rq, RzISO, R3z, P, PMr, Wt, Sk, Pc, Rk and all parameters as per DIN4776 (Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2… …) Analysis as per CMO (NR.05-015) : Ncrx, , Nr, Pt, PtRmax, R, AR , Nw, Wt, Wmax, W, AW，法國汽車工業(yè)(NR.05-015)標準分析: Ncrx, , Nr, Pt, Rmax, R, AR, NW, Wt, Wmax, W, AW. DIN4776規(guī)定的參數(shù)(Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2… …)，Wa,Wt,Wc，EN ISO 13565標準: Rk, Rvk, Rpk, Rpkx, Rvkx，EN ISO 12085(Motif)標準: R, AR, W, AW, Rx, Wx, Wte, Nr, Ncrx, Nw, CMP, Sr, Sar, Sw, Saw
5. 輪廓測量軟件
（1） 測量原理 觸針法
（2） 傳感器 裝在PCV200驅(qū)動器上的測尖和測臂.
（3） 測量范圍 使用PCV200驅(qū)動器輪廓高度為50mm(或&plun;5mm),
（4） 水平長度 200mm.
（5） 垂直放大率 2,000或更大
（6） 輪廓各取樣點之間的距離 0.07 um當取樣速度為0.1 mm/s
（7） 0.35 um當取樣速度 0.5mm/s
（8） 參數(shù) 曲率半徑,角度,距離,坐標,回歸直線的和創(chuàng)
作,圓,圓截 面,確定各個點,相交各點,坐標軸,直線,垂直線,圓和圓截面.
（9） 校準 校準操作.
6. 200型 X-Y置物工作臺
（1） 兩個坐標方向可移動 2.5mm ,旋轉(zhuǎn)5度
（2） 工作臺臺面尺寸 200X200mm
7. PCV輪廓校準裝置
（1）標準球 45mm陶瓷球和8mm紅寶石球
