HM-1000工業顯微鏡
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采用全新的一體化設計,具有優異的光學成像質量,造型新穎,使用方便,并具有豐富的擴展功能,可以廣泛應用于冶金,半導體,電子等行業和研究領域.
主要技術特點:
雙目觀察頭可以0-30°轉動,以調整觀察眼點的高度和觀察方向,使操作者的使用更加舒適
獨立色差校正目鏡,高眼點20MM,超大視場24
采用長工作距離無應力平場復消色差物鏡,提供優異的成像質量,關于物鏡的技術參數可參照工業高倍APO物鏡
帶1XNUV,1XNIR,2X鏡管,三組鏡管之間可以根據需要進行切換,其中1XNUV對355NM和532NM波長進行了優化,1XNIR對532NM和1064NM波長進行了優化,當使用這三個波長的激光器時,可以得到更好的激光透過率.
調焦機構轉動舒適,工作可靠,可承受45磅(20.4KG),確保安裝激光器和CCD攝像頭后,仍然能夠正常工作
物鏡轉換器可調中裝置,可以很方便地調整物鏡的齊中
主體上留有偏光插孔,可進行偏光觀察
目視和攝像光路切換分光比有0: 100和50: 50兩檔
照明系統采用同軸垂直照明系統,光源采用外置冷光源
裝有激光安全定位銷,留有激光安全濾色片的位置,并提供補償片,可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上
主體部分可以安裝在探測工作站上,進行硅片測試
