產品品牌：

日立

產品型號：

SU70

類型：

光學顯微鏡

日立熱場發射掃描電鏡SU70的介紹

采用成熟的超高分辨率半內透鏡技術和熱場發射電子槍，為探索納米世界打開了一扇新的大門。為了滿足在同一臺儀器上進行綜合分析(需要大探針電流)和超高分辨率觀察的需求，日立開發了SU-70。

 

日立熱場發射掃描電鏡SU70的特點

1.100nA的大探針電流

  新開發的肖特基電子槍保證100nA的大探針電流

2.通用的分析型樣品室

  預留了多種接口，可以安裝以下附件進行

  分析：EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,超低

  溫臺，樣品室CCD

3.分析模式(FF模式)

  觀察磁性樣品及EBSP、WDS分析

4.超高分辨率1.0nm/15kV，1.6nm/1kV(減速模式)，超高分辨率的獲得利用了日立

  已被檢驗的半內透鏡技術。

5.超級ExB技術用于控制SE/BSE信號檢測，實現消除放電現象及信號混合

6.電子束減速技術保證了超低電壓的高分辨成像，用于淺表面觀察

 

日立熱場發射掃描電鏡SU70的技術規格

二次電子圖象分辨率

1.0nm(15KV.WD=4.0mm)

1.6nm(1KV.WD=1.5mm,減速模式)

2.5nm(1KV.WD=1.5mm)

 

放大倍數

1.低放大倍數模式20-2,000x

2.高放大倍數模式100-800,000x

 

電子光學

1.電子槍   ZrO/W肖特基電子槍

2.電流     1pA-100nA

3.加速電壓0.5-30KV(標準模式)

4.著陸電壓0.1-2.0KV(減速模式)

5.透鏡系統3級電磁線圈系統

6.物鏡光闌4孔光闌,真空外選擇和細調

 

樣品臺

樣品臺控制5軸馬達控制

移動范圍

X     0-110mm

Y     0-110mm

z     1.5-40mm

T     -5O-+700

R     360O

樣品尺寸直徑150mm(標準)

()  直徑200mm(可選)

 

探測器

1.二次電子探測器

2.背散射電子探測器(可選)

3.STEM探測器(可選)

4.法拉第杯(可選)

5.X射線能譜儀(可選)

6.X射線波譜儀(可選)

7.EBSP探測器(可選)

8.陰極熒光探測器(可選)