ALIO 所有的Z 軸精密運動平臺都提供納米級別的運動定位，其式的結構更是保證了組件在運動過程中的定位和重復定位。所有Z 軸運動都可以與其它位移平臺組合成多軸運動系統。其中更有各種可以適合在各種高真空及強磁環境下工作的型號可供客戶進行選型。AI-VC-2400-Z-CB 規格參數（如需其他型號資料請來電或郵件索取）行程 1 24mm小步長10nm雙向重復定位<±40nm定位2 ±500nm速度100mm/s推力36N直線度及平面度3 <±1umPITCH <±5arcsec4YAW <±5arcsecROLL <±5arcsecMTBF 40,000 小時重量 3.8kg滑塊質量1.5kg1、24mm 為此系列產品標準行程，更多不同行程要求請直接咨詢廠商2、在遵循指導的使用環境才能達到標稱的定位3、此根據客戶要求及定制給出4、1 ° = 1/3600 arcsec
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