型號(hào):GM-6050A
測(cè)量范圍(X*Y*Z):600*500*100mm
工作行程:811*1250*1680mm
影像攝取系統(tǒng):Sony芯片高解析彩色CCD
測(cè)量理論:晶元光罩坐標(biāo)系統(tǒng)
測(cè)量:E1:3+5L/1000µm
平面:E2:3+6L/1000µm
光源系統(tǒng):上光LED光源
LED底光源:可配選同軸光源,各種顏色LED,輪廓光源,
光學(xué)放大倍率:0.7X-4.5X
影像放大倍率:30X-225X
儀器結(jié)構(gòu):00級(jí)花崗巖
工作臺(tái)結(jié)構(gòu):00級(jí)花崗巖
儀器重量:750KG(包括機(jī)架)
工作臺(tái)承重:3-5KG均布
軟件配置
標(biāo)準(zhǔn):NEPTUNE EF8000
操作系統(tǒng):正版XP系統(tǒng)
電源:220V 50&plun;5Hz
功率:1KV
溫度范圍:20&plun;5℃1℃/h 2℃/24h 1℃/m
濕度:40%-70%
震動(dòng):〈30Hz
電腦配置:(定期更新)
主板:華碩P5KPL-SE主板
CPU:E2200雙核
內(nèi)存:1G
硬盤(pán):160G
顯卡:七彩虹PCI-E256M







