X射線膜厚測試儀采用X射線管和高壓電源。X射線管裝在一個抽真空后注滿油的全密封的油箱中緣和良好冷卻，高壓等級根據所造型號不同有所區別，加上傳感器具有的溫度自動保護與報警功能，了X射線管的穩定性和使用壽命。模塊化設計、免維護設計方案及規范的制造了設備系統高性。
X射線膜厚測試儀檢測器。X射線檢測器主要由光電管和前置放大器組成。光電管 的陰加有高壓（通常幾百伏）。當X射線光子射到光電管的陰時產生電子，在陰電壓的作用下，把陰的每個電子（假設每放大n個電子）增加到d (d為數）個電子，即放大管電流，終到達陽，然后通過前置放大器把管電流放大并轉換成電壓形式。
X射線膜厚測試儀簡單地說螢光X射線裝置(XRF)和X射線衍射裝置(XRD)有何不同,螢光X射線裝置(XRF)能得到某物質中的元素信息（物質構成,組成和鍍層厚度）,X射線衍射裝置(XRD)能得到某物質中的結晶信息。
具體地說,比如用不同的裝置測定食鹽(氯化鈉=NaCl)時,從螢光X射線裝置得到的信息為此物質由鈉(Na)和氯(Cl)構成,而從X射線衍射裝置得到的信息為此物質由氯化鈉(NaCl)的結晶構成。單純地看也許會認為能知道結晶狀態的X射線衍射裝置(XRD)為好,但當測定含多種化合物的物質時只用衍射裝置(XRD)就很難判定,須先用螢光X射線裝置(XRF)得到元素信息后才能進行定性。
膜厚儀也叫X射線測厚儀，它的原理是物質經X射線或粒子射線照射后，由于吸收多余的能量而變成不穩定的狀態。穩定狀態要回到穩定狀態，此物質需將多余的能量釋放出來，而此時是以熒光或光的形態被釋放出來。熒光X射線鍍層厚度測量儀或成分分析儀的原理就是測量這被釋放出來的熒光的能量及強度，來進行定性和定量分析。
