壓電陶瓷電動機)的運動控制系統具有如下功能和特點:
(1)定位,分辨率可達1μm,10nm:
(2)運動速度平穩,10μm/s,250mm/s:
(3)標準應答時間為50~75μs:
(4)整定時間明顯一般伺服電動機,以0.1μm的分辨率為例,1~2ms,為一般伺服電動機的1/10:
(5)定位后沒有一般伺服電動機存在的晃動問題:
(6)重量輕,體積小:
(7)行程無限制
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