中型等離子清洗機：
主要應用于LCD、連接器、鍵合前等大規模生產領域。
特點：元器件及部件采用，了整機的穩定性和使用壽命。
真空泵采用旋片泵，是適用于等離子工藝環境使用的可長時間工作的體系，在氧化、耐腐蝕等諸多方面積累了豐富的經驗，使泵的壽命大大，并降低了泵的維護成本，泵的各項保護措施完善，了長時間工作限，泵油為、氧化油，泵具有可自行溫度過高的散熱體系，無需水冷。泵體內置于機柜內部，使機器緊湊，占地面積小。
控制方式：自動控制系統采用PLC加觸摸屏控制，工藝參數、工藝過程實時監控，并顯示運行狀態、報警記錄和工藝曲線記錄、工作時間記錄，適合維護，可以提供工藝參考。
標準型號：QT-60-PSP、QT-80-PSP、QT-10-PSP、QT-120-PSP、QT-150-PSP。
◎可存儲50組工藝配方，隨意調用。
◎清洗時間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量、設定可調。
◎工藝參數受保護，分級管理查詢。
◎一鍵完成全自動工藝，實時故障報警、非法操作提示、清潔結束提示等。
◎自動提醒系統維護、更換真空泵油等，避免機器過載、過老化情形下工作，延長使用壽命。
◎氣體質量流量計采用美國，由模擬輸入輸出，量程為0～20sccm可在量程范圍內無級調節，根據的工藝要求可用PLC可對質量流量計進行PID調節而實現真空度的控制。
◎根據的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設備，油過濾器，過濾返油裝置等。電結構（）的高等離子通量設計能很好地等離子體地均勻性及穩定性。
主要應用于LCD、連接器、鍵合前等大規模生產領域。
特點：元器件及部件采用，了整機的穩定性和使用壽命。
真空泵采用旋片泵，是適用于等離子工藝環境使用的可長時間工作的體系，在氧化、耐腐蝕等諸多方面積累了豐富的經驗，使泵的壽命大大，并降低了泵的維護成本，泵的各項保護措施完善，了長時間工作限，泵油為、氧化油，泵具有可自行溫度過高的散熱體系，無需水冷。泵體內置于機柜內部，使機器緊湊，占地面積小。
控制方式：自動控制系統采用PLC加觸摸屏控制，工藝參數、工藝過程實時監控，并顯示運行狀態、報警記錄和工藝曲線記錄、工作時間記錄，適合維護，可以提供工藝參考。
標準型號：QT-60-PSP、QT-80-PSP、QT-10-PSP、QT-120-PSP、QT-150-PSP。
◎可存儲50組工藝配方，隨意調用。
◎清洗時間、潔凈壓力、射頻功率、工藝氣體流量、設定可調。
◎工藝參數受保護，分級管理查詢。
◎一鍵完成全自動工藝，實時故障報警、非法操作提示、清潔結束提示等。
◎自動提醒系統維護、更換真空泵油等，避免機器過載、過老化情形下工作，延長使用壽命。
◎氣體質量流量計采用美國，由模擬輸入輸出，量程為0～20sccm可在量程范圍內無級調節，根據的工藝要求可用PLC可對質量流量計進行PID調節而實現真空度的控制。
◎根據的工藝要求可使用干泵，尾氣處理設備，油過濾器，過濾返油裝置等。電結構（）的高等離子通量設計能很好地等離子體地均勻性及穩定性。
