1.觸摸屏操作，多組程序設(shè)定，可照射多片，一鍵式完成全自動操作。
2.臺式抽屜式結(jié)構(gòu)方便取放WAFER，操作。
3.適用于3inch-12inch的wafer.
4.采用光源，使用壽命長，性高，熱量小，功耗低。
2.臺式抽屜式結(jié)構(gòu)方便取放WAFER，操作。
3.適用于3inch-12inch的wafer.
4.采用光源，使用壽命長，性高，熱量小，功耗低。
