檢驗(yàn)千分尺：
一、測(cè)量面的平行度及平面度采用光學(xué)平晶進(jìn)行檢驗(yàn):
光學(xué)平面與絲桿測(cè)量面或測(cè)砧測(cè)量面貼合后，由于測(cè)量面的不平度，
使平晶與測(cè)量面之間存在空隙，從而產(chǎn)生干涉帶或干涉環(huán)，在測(cè)量面的
垂直方向每條干涉帶或干涉環(huán)所代表的平面度誤差為0.3μm.
二、測(cè)量面的平行度誤差：
測(cè)量范圍上限至100mm的千分尺兩側(cè)量面的平行度采用絲桿螺距的1/3
或1/4的光學(xué)平行平晶來(lái)進(jìn)行檢驗(yàn)，依次將光學(xué)平行平晶入兩測(cè)量面間
轉(zhuǎn)動(dòng)測(cè)力裝置。施加5-10N的力,使兩測(cè)量面出現(xiàn)的干涉環(huán)或干涉帶數(shù)目
減少至少.
測(cè)量范圍大于100mm的千分尺,測(cè)量面的平行度可用自準(zhǔn)直儀進(jìn)行檢
驗(yàn).
在距測(cè)量邊緣0.4mm范圍內(nèi)的平行度忽略不計(jì)，
三、測(cè)量面的平面度誤差：
采用二級(jí)光學(xué)平晶檢驗(yàn)，應(yīng)調(diào)整光學(xué)平晶使測(cè)量面上干涉帶或干涉
環(huán)。
測(cè)量面不應(yīng)出現(xiàn)兩條以上的相同顏色的干涉環(huán)或干涉帶（測(cè)量量面的
平面度，〈0.6μm）
在距測(cè)量面邊緣0.4mm范圍內(nèi)的平面度忽略不計(jì)。
