主要產品系列:一維直驅式、一維放大式、一維Z向式、一維小體積式、一維中空式、一維L式物鏡臺、一維U式物鏡臺、二維集成式、二維模塊式、三維集成式、三維模塊式、三維并聯式、六維并聯式。
納米級精密定位工作臺以壓電陶瓷致動器為驅動元件,通過柔性鉸鏈機構進行無間隙的微位移傳動,運動范圍在幾十微米到幾百微米,運動分辨率和重復定位在納米級。主要應用于精密進給系統、精密位移補償、精微操作、MEMS技術、生物工程、細胞操作、微刻蝕、掃描隧道顯微鏡、光學調整、電化學加工等領域。
主要特點:
采用壓電陶瓷驅動;
納米級位移分辨率;
重復定位高;
優良的頻率響應特性;
采用計算機有限元分析等現代設計動結構;
可內置電阻應變片式微位移傳感器,方便實現閉環控制;
機體材料可選擇鋁合金、Invar合金等,適用于不同的應用場合;
采用電火花、線切割等加工工藝,以嚴格加工;
采用的表面處理工藝,了適應不同工作環境的能力;
運動自由度從一維到六維,行程10~400微米,形成多系列產品。







