產(chǎn)品概述:
4000是美國矽翔微機電系統(tǒng)有限公司采用的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。該傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮氣流量監(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）
4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測量范圍到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測量范圍到50SLPM；可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣測，如：空氣采樣機，氣體分析儀等
產(chǎn)品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設(shè)計
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，了傳感器的高計量
- 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由機查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 點穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快
