天津市恒越達科技有限公司
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自動平衡氣墊精密光學(xué)平臺
工作原理：平臺的每一個氣腿上有一個定位開關(guān)，當(dāng)平臺低于開關(guān)時，閥門打開氣泵開始充氣。當(dāng)
平臺高于定位開關(guān)時，閥門打開氣腿自動放氣。
氣墊隔振平臺外形尺寸
1200×800×800mm
1500×1000×800mm
1800×1000×800mm
1800×1200×800mm
2000×1200×800mm
2400×1200×800mm
氣墊隔振平臺性能
平面粗糙度不大于0.8um
平面度不大于0.05mm/㎡
振幅不大于3um
固有頻率不大于3Hz
臺面可調(diào)為0.2mm
M6安裝螺孔間距25×25mm或50×50mm
平臺表面材質(zhì)采用高導(dǎo)磁不銹鋼板面
