1.臺式勻膠機旋涂儀產(chǎn)品簡介
WH-SC-01勻膠機適用于半導(dǎo)體工藝，制版及表面涂覆等工藝，可在科研、教育等單位作科研、教學(xué)之用。其總體設(shè)計由蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司開發(fā)完成，具有知識產(chǎn)權(quán)。
勻膠機快速啟動和穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速，能夠膠厚度的一致性和均勻性。采用全觸摸屏控制，三檔轉(zhuǎn)速。在啟動之后先在低速下進行勻膠，之后切換至下進行甩膠，轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào)；實現(xiàn)啟停可控，轉(zhuǎn)速實時觀察等功能。儀器配置“開關(guān)”按鈕，當(dāng)進行運轉(zhuǎn)時，關(guān)上上蓋后，“開關(guān)”啟動，運行過程中，上蓋不能打開。可以起到保護作用。
2.臺式勻膠機旋涂儀技術(shù)參數(shù)
2 轉(zhuǎn)速：300-4500RPM
2 時間控制：1--32767s
2 轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：±1%
2 膠的均勻性：±3%
2 參數(shù)設(shè)定：觸摸屏設(shè)置參數(shù)
2 適用于φ28至φ200mm硅片及其它材料等勻膠
2 電源輸入：AC220V±10V,50HZ
2 功率：60W
2 重量：13kg
2 外形尺寸：300（W）*227（H）*350（D）
2 工作環(huán)境：溫度0℃-40 ℃，相對濕度＜80%
3.臺式勻膠機旋涂儀特征圖解
①撞墊②勻膠托盤③觸摸屏④吸附盤⑤觀察窗⑥蓋板 ⑦抽氣孔⑧電源插口及開關(guān)
4.臺式勻膠機旋涂儀操作說明
（1）選擇合適的吸附盤（略小于樣本尺寸），將缺口對準(zhǔn)螺釘安裝，吸附盤安裝時要到底。
（2）開啟電源，進入?yún)?shù)設(shè)置頁面。可分別設(shè)置三個階段轉(zhuǎn)速和時間，按工藝設(shè)置好轉(zhuǎn)速和時間，點擊“確定”。
（3）進入啟動儀器界面，放片，要注意放正。打開真空泵，點擊“吸盤”后點“啟動”，儀器開始運行。轉(zhuǎn)速和運行階段以及當(dāng)前階段剩余時間可在顯示屏上實時觀察。
（4）滴膠，動作要快。在一階段運轉(zhuǎn)時間內(nèi)滴膠完畢，關(guān)上上蓋；間推移自動運行第二和第三階段。關(guān)上上蓋后，開關(guān)啟動，須等到儀器停止運行，上蓋才能被打開。
（5）電機停轉(zhuǎn)后，點擊脫盤，吸片停止。打開上蓋，取下片子。
（6）繼續(xù)勻膠時重復(fù)以上步驟。
（8）勻膠結(jié)束后，關(guān)上上蓋，切斷電源。
5.臺式勻膠機旋涂儀維護清洗
屬下列情況之一時，需要對抽氣室進行清洗
1.正常使用半個月的；
2.膠被吸入抽氣室的；
3.電機轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動的。
6.臺式勻膠機旋涂儀常見故障排除
下列故障非本機故障，用戶可參考自行解決，若仍不能排除故障，請及時撥打本公司服務(wù)熱線：0512-62525801，本公司將竭誠為廣大用戶服務(wù)。
故障現(xiàn)象 | 原因 | 排除 |
電機不轉(zhuǎn) | 1.電源線沒插好 | 插好電源線 |
2.保險管熔斷 | 換用同規(guī)格新的保險管 | |
硅片沒吸住 | 1.吸氣管未插 | 插好吸氣管 |
2.真空泵沒開 | 打開真空泵 |
臺式勻膠機旋涂儀注意事項
拆開包裝后，請按照裝箱單詳細檢查配件，如有缺失，請聯(lián)系銷售商。注意須將包裝和泡沫墊卸下，否則有可能因熱量不易散發(fā)或受到其它外界因素的影響引起火災(zāi)。
操作前請詳細閱讀本說明內(nèi)容，并嚴(yán)格按照要求依次進行操作。若用戶因不規(guī)范操作或違規(guī)操作而導(dǎo)致的人身傷害事故、儀器損害、財產(chǎn)損失，制造商將不予承擔(dān)。
(1) 安置本儀器的桌（臺）面應(yīng)堅實平整，四只橡膠腳墊應(yīng)與桌（臺）面平穩(wěn)接觸，否則會產(chǎn)生儀器不平穩(wěn)，從而導(dǎo)致標(biāo)準(zhǔn)的震動，致使器件損傷或儀器停止運行。
(2) 儀器工作時，操作人員不得倚靠在儀器上，非工作人員不得在非空間內(nèi)逗留，勻膠機周圍不得放置危險物品。
(3) 所甩樣片的尺寸要大于吸附盤尺寸2-3mm左右，如果用大吸附盤甩小的樣片就會產(chǎn)生漏氣，同時造成膠被吸入抽氣室，導(dǎo)致氣路堵塞。
(4) 如果不慎膠被吸入了抽氣室，要立刻進行清洗，否則吸附盤、光電盤、電機軸會黏在一起，造成電機轉(zhuǎn)不動，拆卸亦很困難。
(5) 氣路堵塞或氣泵損壞時電機也可運轉(zhuǎn)產(chǎn)生飛片，故在啟動電機前須確認氣泵的狀況良好及吸片確已吸住。
(6) 儀器出現(xiàn)故障應(yīng)及時與銷售商或廠家聯(lián)系，切勿自行打開機殼。嚴(yán)禁非人員維修，維修時須先拔下電源插頭，事故發(fā)生。
臺式勻膠機旋涂儀裝箱清單：
名稱 | 單位 | 數(shù)量 |
勻膠機機體 | 臺 | 1 |
電源線 | 份 | 1 |
吸附盤4寸 | 個 | 標(biāo)配 |
吸附盤1寸、2寸、3寸、5寸 | 個 | 選配 |
無油真空泵 | 個 | 選配 |
使用手冊 | 份 | 1 |
質(zhì)檢 | 份 | 1 |
合格證 | 份 | 1 |
保修卡 | 份 | 1 |
無油真空泵：又稱干式真空泵，是泵的工作腔內(nèi)沒有任何介質(zhì)，可以原汁原 味的回收氣體。
無油真空泵技術(shù)參數(shù)：
1）型號：AP-550V
2）抽速：1.5 升/秒
3）功率：320W
4）噪音：58db
5）電壓、頻率：~220V/50HZ
6）lowest真空度：-700mmHg
7）重量：5.8kg
8）外形尺寸：240×130×200mm
注：清點包裝箱內(nèi)的附件和印刷資料，箱內(nèi)的附件和資料請按照裝箱清單對照檢查。
