TESCAN 掃描透射電子顯微鏡
TESCAN TENSOR 4D 掃描透射電子顯微鏡
高度集成、旋進輔助的分析型 4D- STEM
TESCAN TENSOR 是一款中等加速電壓、近超高真空的集成 4D-STEM， 用于對功能材料、薄膜、天然和合成顆粒的納米級形態(tài)、化學(xué)和結(jié)構(gòu)特性進行多模態(tài)表征，具有出色的 4D-STEM 性能和良好的普遍適用性。
分析型 4D-STEM
更全面的獲取電子束與樣品相互作用的全部信息
4D-STEM 是對材料特性（如形態(tài)、化學(xué)成分和結(jié)構(gòu)）進行真正的納米級多模態(tài)表征的理想顯微鏡方法。在 STEM 數(shù)據(jù)集中的每個像素上，TESCAN TENSOR 都能快速、準(zhǔn)確地同步獲取衍射花樣和 EDS 能譜圖。衍射和能譜數(shù)據(jù)共同揭示了電子束與樣品相互作用的全部信息，從而得出各種材料屬性。
近實時分析和處理 4D-STEM 數(shù)據(jù)
TESCAN TENSOR 具有真正獨特的功能是“Explore”，它是 TENSOR 的集成平臺，用于實時處理和分析大規(guī)模掃描電子衍射數(shù)據(jù)集。
Explore 可以協(xié)助材料科學(xué)家、半導(dǎo)體科研人員和失效分析工程師以及晶體學(xué)家實現(xiàn) 4D-STEM 測量功能，無需 STEM 光學(xué)或 4D-STEM 數(shù)據(jù)分析和后處理方面的專業(yè)知識。用戶可以根據(jù)自己的喜好調(diào)整每次 STEM 或 4D-STEM 測量的預(yù)設(shè)優(yōu)化光學(xué)屬性。
測量功能:
TESCAN TENSOR 為材料科學(xué)家、半導(dǎo)體研發(fā)和失效分析人員以及晶體學(xué)家提供了眾多已預(yù)設(shè)的STEM、4D- STEM和斷層掃描測量的參數(shù):
STEM BF, ADF 和 HAADF 成像
STEM 晶格像
成分 (能譜分析和元素面掃)
取向 / 物相分布成像
應(yīng)力分布圖
虛擬 STEM
STEM 和 EDS 重構(gòu)
衍射重構(gòu)
性能:
TESCAN 從零開始開發(fā)了全新的 TENSOR，優(yōu)化了STEM 掃描的同步功能：
混合像素的直接電子衍射相機衍射成像
2個無窗EDS探測器(2個大立體角)進行快速地能譜采集
快速，旋進電子束頻率高達 72kHz
一體化的靜電束閘
近實時4D-STEM數(shù)據(jù)分析、處理和可視化軟件(TESCAN Explore)
都集成在模塊化、中高壓、近超高真空 (樣品區(qū)域真空達到10-6 Pa) 的肖特基場發(fā)射電子槍上
可用性:
TESCAN TENSOR 是一臺可以像掃描電鏡一樣易于使用的掃透電鏡（STEM）。它可以讓使用者把時間花在樣品分析上，而不是浪費于參數(shù)調(diào)整。新手用戶只需要最少時間的訓(xùn)練，就能很快獲得結(jié)果。有經(jīng)驗的用戶可以使用選配的 API 開發(fā)適合自己的測量功能，并通過 HyperSpy、LiberTEM 或 Py4DSTEM 等開放平臺的解決方案導(dǎo)出 TENSOR 4D- STEM 的數(shù)據(jù)集進行離線處理。
