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在氣體質量流量的測量和控制領域具備獨特的 技術專長，長期以來立志為客戶提供卓越及穩 定的氣體測控技術和整體解決方案。為例如半 導體、太陽能光伏、汽車工業、新能源、醫療 設備、環境監測，生物化學和生命科學等領域 的客戶提供完備的定制化服務，滿足其對于精 密可靠的氣體測控及工藝管理的需求，以適應 快速迭代的終端應用和持續提升的客戶需求。 核心團隊擁有數十年的技術背景，對產業的需 求與技術有深度認知，并具有豐富的客戶服務 經驗。 秉承
量程：0-5000SLPM
精度：1%RDG
可控范圍：50：1（100：1）
漏率 ： 1*10-9Pa.m3/sec(He) Metal： 1*10-11Pa.m3/sec(He)
