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采用AC私服電動機
無刷式，不會造成無塵室污染
減少電動機發(fā)熱，也減少因連續(xù)使用時的溫度上升造成封膜厚再現(xiàn)性的影響
電力消耗低，節(jié)能環(huán)保
擴展程式功能
多有100中程式，可記憶十種模式，更容易使用
所有機型都標(biāo)配數(shù)字真空計
方形基板等可設(shè)定停止時間，超級方便
阿全機械裝置
由于薄膜或晶圓容易破裂，降低吸附壓力，可以變更安全裝置。
單片 各中尺寸，定制型設(shè)備，便宜，性能好。
產(chǎn)地日本，非常適合研發(fā)使用
