重量:45Kg
類(lèi)型:手動(dòng)的
測(cè)量樣本大小:點(diǎn) 8", 12"
測(cè)量方法:無(wú)連接的
測(cè)量原理:反射計(jì)
特點(diǎn): 測(cè)量,操作簡(jiǎn)單
非接觸式,非破壞方式
活動(dòng)范圍:200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12")
測(cè)量范圍:100Å~ 35㎛(Depends on Film Te)
光斑尺寸:40㎛/20㎛, 4㎛(option)
測(cè)量速度:1~2 sec./site
應(yīng)用領(lǐng)域:All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Wafer Measurement & OLED
選項(xiàng) Programmable Auto Z Stage
參考樣品(K-MAC or KRISS or NIST)
焦點(diǎn) Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附帶照明 12v 100W Halogen Lamp







