FS5000系列專為普通氣體的監控而設計。由于我公司的信號跟蹤檢定能力設計，該傳感器可直接測量流體質量。可偵測流速為20 nL／min的流體。傳感器可應用于多氣流管道的測量、泄漏偵測，HVAC控制，凈化空氣或氮氣監控，環境設備如空氣采樣機、分析儀器如GC分光儀。
FS5001可設定為可測滿量程為1-1000 sccm（1 SLPM），并可根據客戶需求進行定制。該產品可即插即用，具有多種用途。
產品特點：
−專為流量跟蹤測量而設計，測流量可達20nL／min
−卡口式設計可應用于多氣道
−快速響應時間有利于精密測量的應用
−在分析設備表現卓越，如：GC分光儀
−多樣化的可調節方式可輕松應用于不同環境
−內置插件可適用于更多的應用中
FS5001可設定為可測滿量程為1-1000 sccm（1 SLPM），并可根據客戶需求進行定制。該產品可即插即用，具有多種用途。
產品特點：
−專為流量跟蹤測量而設計，測流量可達20nL／min
−卡口式設計可應用于多氣道
−快速響應時間有利于精密測量的應用
−在分析設備表現卓越，如：GC分光儀
−多樣化的可調節方式可輕松應用于不同環境
−內置插件可適用于更多的應用中
其他說明
| FS5001 | 單 位 | |
| 滿量程 | 1 to 1000 | sccm (NmL/min) |
| 工作電壓 | 8~18 | Vdc |
| 輸出方式 | RS232, I2C, 模擬 | |
| 輸出 | 4.5 | Vdc |
| &plun;(1.5+0.2FS) | %讀數 | |
| 重復性 | &plun;0.75 | %讀數 |
| 點飄移 | 0.5 | Vdc |
| 響應時間 | 50 | msec |
| 壓力 | 0.8 | MPa |
| 工作溫度 | -20~+70 | °C |
| 標準校準氣體 | 空氣 | |
| 機械連接 | O型密封圈 |
