產品概述：
FS4000系列是美國矽翔微機電系統有限公司采用的微機電系統（MEMS）流量傳感技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，壓損低。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于監測儀器，如空氣采樣和分析儀器9GC頻譜儀）
FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低，壓損小，測量范圍到5SLMP，適用于粒子計數器和分析儀器等。
FS4008流量傳感器，測量范圍到50SLPM.可用于氣流測量和控制設備。應用于麻醉設備、潔凈氣體監控，如：空氣采樣機，氣體分析儀等。
產品特點：
-專為管徑為3mm-8mm的固定氣道中的低壓氣體流量測量而設計
-卡口式設計為多管路集成測量而設計
-快速地響應時間利于精密測量應用
-在麻醉機上表現卓越
-可變機械連接方式可輕松安裝于不同的應用環境中
-內置插件可適用于更多的應用
FS4000系列是美國矽翔微機電系統有限公司采用的微機電系統（MEMS）流量傳感技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，壓損低。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于監測儀器，如空氣采樣和分析儀器9GC頻譜儀）
FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低，壓損小，測量范圍到5SLMP，適用于粒子計數器和分析儀器等。
FS4008流量傳感器，測量范圍到50SLPM.可用于氣流測量和控制設備。應用于麻醉設備、潔凈氣體監控，如：空氣采樣機，氣體分析儀等。
產品特點：
-專為管徑為3mm-8mm的固定氣道中的低壓氣體流量測量而設計
-卡口式設計為多管路集成測量而設計
-快速地響應時間利于精密測量應用
-在麻醉機上表現卓越
-可變機械連接方式可輕松安裝于不同的應用環境中
-內置插件可適用于更多的應用
其他說明
| FS4003 | FS4008 | 單位 | |
| 通徑 | 3 | 8 | mm |
| 流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
| 量程比 | >100:1 | ||
| 精 度 | &plun;(1.5+0.2FS) | % | |
| 重復性 | &plun;0.75 | % | |
| 壓力 | 1.0 | MPa | |
| 工作溫度 | -10 ~ 55 | o C | |
| 濕度 | < 95 | %HR | |
| 電源 | 8-24Vdc, 50mA | ||
| 輸出方式 | RS232, I2C, 模擬 | ||
| 機械接口 | NPT, BSPT 或根據需要定制 | ||
| 校準條件 | 空氣, 20 o C, 101.325 kPa | ||
