設備用途:
WM168/112 手動劃片貼膜機是一臺手動上下料,手動拉膜,手動貼膜, 自動壓膜,手動切割的貼膜設備,適用于半導體晶圓劃片制程前的貼膜工序。
設備特點:
1、省膜:節約的省膜設計, 8”框架消耗膜長度小 305mm;6”框架消耗膜長度小
241mm。12”框架消耗膜長度小 407mm。
2、刀片使用壽命長:圓周切割刀單片可切約 2000 片,直線切斷刀壽命可達 100000 片。
3、晶圓性:浮動式晶圓工作臺,底部設計有 6 個彈簧,當滾輪貼膜力過 大時,彈簧緩 沖,此時貼膜力為彈簧力,而非滾輪壓力,可保護晶圓免受損壞;
真空吸附力可調,可將真 空吸附力調節到剛好需要的吸附力,避免晶圓時,由于真 空吸附力太大造 成晶圓損壞。
4、貼膜一致性好,不受員工操作熟練度的影響:
A貼膜壓力由氣缸控制,貼膜壓力恒定,區別于手持式滾輪。
B簡單地前后拉動龍門就能將膜貼上。
C 簡單旋轉手柄,就能完成圓周切割。
5、晶圓厚度兼容:可同時兼容 150 um- 1000um 厚度晶圓,且厚度在±200um 范圍內 變 化時,機器可不做任何調整(因為晶圓工作臺是浮動的),當厚度范圍出±200um 時 可通 過標配的旋鈕及指示盤快速調整到適應此厚度的機器狀態,如晶圓厚度為 700um,調 節指示 盤到 70 即可,調節簡便直觀,不易出錯。
6、中心軸旋轉式刀架相對玻璃刀架更穩定,刀架使用壽命大,不會產生粉塵。
7、省力設計:翻轉刀架兩側的氮氣彈簧,經巧妙設計后,能大減小翻轉時所需要的力。
8、貼膜效果:無氣泡(不包括碎粒氣泡)。
9、高質量:主要元器件均選用品牌,機器的穩定性及使用壽命













