一、設備總體描述：
該激光微加工設備系統利用MDI 的定制化激光頭，用于各種硬材料的加工，適合加工藍寶石、氮化
鎵、碳化硅等各種半導體器件基板。
二、設備安裝及廠務要求：
1. 布局
a) 尺寸：1060mm（W）x1800mm（D）×30mm（H）
b) 重量：約2200kg
*在激光微加工系統中嵌入制冷機。系統的維護空間是需的。詳情請參閱所附圖紙。
2. 環境要求
a) 環境溫度：在25C（+ / - 1C 在不到一個小時）*環境溫度不應突然改變。
b) 濕度：40%到60%（+ / - 2%在不到一個小時）
c) 振動：系統不能安裝在振動過大的地區
3. 動力條件
a) 電源：三相ac380 V + / - 10%或更少的外部變壓器
電源線長度：5.0m
b) 接地：D 型（遵守相關的地方法規和條例）
電纜接地要求（電阻：小于100 歐姆）
c) 真空：- 80kPa / 40L／min。
d) 壓縮空氣：0.6MPa／100L／min。
e) 管：-1.5kpa / 0.5m3/min。
